Вакуум: өлгөләр араһындағы айырма
Эстәлек юйылған Эстәлек өҫтәлгән
"thumb| вакуумды демонстрациялау өсөн насос '''Ва́куум''' (от {{l…" исемле яңы бит булдырылған |
Үҙгәртеү аңлатмаһы юҡ |
||
1 юл:
[[Файл:Kolbenluftpumpe hg.jpg|thumb| вакуумды демонстрациялау өсөн насос]]
'''Ва́куум''' (от {{lang-la|vacuus}} — пустой) —
== ВАКУУМ ҠУЛАЙЛАМАҺЫ ==
Машиналар эшләүҙә: баҫымы 0,1 Па алып 0,001 Па тиклем булған вакуумды файҙаланып, төрлө технологик процестарҙы башҡарыу өсөн тәғәйенләнгән. Тәғәйенләнеше б‑са ионлы имплантация, төрлө өрҙөрөп буяу төрҙәре, термик эшкәртеү, электрон нурланышлы иретеп йәбештереү һ.б. өсөн В.ҡ. бүләләр. В.ҡ. технологик процестар 2 стадияла башҡарыла: эшкәртеүсе матдәнең (пар йәки плазма) генерацияланыуы һәм уның эшкәртелеүсе йөҙ м-н үҙ‑ара тәьҫире. В.ҡ. төп өлөштәре: вакуум камераһы, газ бүлеү һәм һурҙырыу системалары, ярҙамсы ҡоролмалар һәм технологик ҡорамалдар, электр м‑н тәьмин итеү һәм блокировка системалары, парландырғыстар, ионлы һәм плазмалы тиҙләткестәр. Ҡулайламаларҙың айырым механизмдары һәм блоктары дөйөм принципта эшләнгән; вакуум камераларының, парландырғыстарҙың төҙөлөштәре, үлсәмдәре, параметрҙары м-н айырылалар. Оҙонлоғо 3,6—5 м, киңлеге 2—3,6 м, бейеклеге 2—2,5 м һәм вакуум камераларының диаметры 0,6—1,2 м, оҙонлоғо 0,8—3,0 м булған В.ҡ. киң таралған. 20 б. 70-се йй. аҙ. алып — ӨМЭПБ-та һәм “Гидравлика” пр-тиеһында МАП-1, ННВ6, 6-И1 (Булат), ВИТА, УРМ-3 тибындағы камиллаштырылған ҡулайламалар, 90-сы йй. алып ӨДАТУ-ла уйлап сығарылған В.ҡ. ҡулланыла. Шулай уҡ ҡара: Вакуумлы ионлы-плазмалы технологиялар.
== Әҙәбиәт ==
Әҙәб.: Будилов В.В. Технология вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий. Уфа, 1993.▼
== Примечания ==
{{примечания}}
* {{книга
|автор = Борисов В.П.
|ссылка часть = http://www.vacuum.ru/file/misc/borisov/vacuum
|заглавие = Вакуум: от натурфилософии до диффузионного насоса
|место = М.
|издательство = НПК «Интелвак»
|год = 2001
|ref = Борисов
}}
* {{книга|заглавие=Научные основы вакуумной техники|место=М.|год=1964}}
* {{книга|автор=Грошковский Я.|заглавие=Техника высокого вакуума|место=М.|год=1975}}
* {{книга|заглавие=Основы вакуумной техники. 2-е изд|место=М.|год=1981}}
* {{книга|автор=Розанов Л. И.|заглавие=Вакуумная техника. 2-е изд|место=М.|год=1990}}
* {{статья|автор=[[Окунь, Лев Борисович|L. B. Okun]]|заглавие=On the concepts of vacuum and mass and the search for higgs|ссылка=http://www.worldscientific.com/doi/abs/10.1142/S0217732312300418|язык=en|издание=[[Modern Physics Letters A]]|год=2012|volume=27|pages=1230041|doi=10.1142/S0217732312300418|arxiv=1212.1031}}
* ''Крамер Д. и др.'' Точные решения уравнений Эйнштейна. М.: Мир, 1982. — 416 с.
* {{Книга:Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М.: Теория поля|1988}}
* ''Паули В.'' Теория относительности. М.: Наука, 1991.
[[Категория:Вакуум| ]]
| |||
